Y wafer dau - hylif sengl {- ochr brwsio ochr a glanhau troelli - sychwr (glanhawr sic gyda dau - Mae troelli brwsio hylif - yn drychu) dyfeisiau, dyfais dadlwytho gorsaf sengl -, uned puro FFU, system rheoli trydanol, system bibellau, a system niwmatig.
Paramedrau Cynnyrch
Llif 1. Gynhyrchu:
Llwyth → Lleoliad → Cylchdroi, Brwsio, Glanhau, Dau - chwistrellu hylif → cylchdro, troelli - sychu → dadlwytho
Deunyddiau 2.Major:
Metel
Bwrdd Gwyn PP
3.Transportation:
Mae wafferi yn cael eu cludo gan law robotig lân.
Nodweddion a Chymwysiadau Cynnyrch
Yn tynnu gronynnau gweddilliol o'r wyneb wafer.
Manylion y Cynnyrch
Capasiti'r Siambr Golchi:
1 wafer
Amser swp cynhyrchu nodweddiadol:
Tua . 144 sec/darn (mae'r amser brwsh yn addasadwy)
Meintiau Safonol:
6 modfedd (φ150mm) ac 8 modfedd (φ200mm)
Non - Meintiau safonol:
φ150 ~ 153mm a φ200 ~ 203mm
Senarios cais
◇ Ym mis Hydref 2023, y glanhawr sic gyda dau - hylif brwsio troelli - sychu Ymchwil a Datblygu wedi'i gwblhau a mynd i mewn i redeg prawf.
Tagiau poblogaidd: Glanhawr SiC gyda dau sbin brwsio hylif - sychu, glanhawr sic China gyda dau sbin brwsio hylif - gwneuthurwyr sychu
