Mewnosod Uned Glanhau

Mae'r Uned Glanhau Mewnosod yn ddarn o offer wedi'i addasu wedi'i gynllunio'n arbennig ar gyfer glanhau wafer awtomatig. Cyflawnir gwahanu wafer awtomatig trwy fecanwaith gwahanu awtomatig. Ar ôl gwahanu, mae manipulator yn trosglwyddo'r casét i'r glanhawr. Unwaith y bydd y glanhau wedi'i gwblhau, mae robot yn symud y casét i'r platfform lleoli gwrthdroi (lleoliad llorweddol) y peiriant didoli. Ar ôl ei lanhau, mae'r robot yn gosod y casét gwag ar linell ddychwelyd y casét, sy'n ei gludo yn ôl i safle bwydo'r peiriant sy'n gwahanu. Dim ond sicrhau bod wafferi silicon y mae angen i weithwyr eu llwytho i mewn i rigol bwydo'r peiriant sy'n gwahanu.

Mae prif linell gynhyrchu'r peiriant glanhau yn cynnwys 16 o swyddi gweithio. Mae ei egwyddor weithredol yn defnyddio dirgryniad mecanyddol gyda threiddiad ultrasonic cryf i effeithio ar arwyneb wafer silicon, ynghyd ag effaith dadheintio cemegol yr asiant glanhau, i gael gwared ar amhureddau fel carbid silicon, powdr silicon, powdr metel, staeniau olew, a hylifau wedi'u hatal o'r arwyneb wafer mewn glân.

Mae cydrannau allweddol system rheoli trydanol y glanach wedi'u gwneud o rannau ansawdd uchel - wedi'i fewnforio, gan sicrhau perfformiad dibynadwy, oes gwasanaeth hir, a swyddogaeth cof sefyllfa. Mae'r drol gantry yn gweithredu'n llyfn, gyda symudiad cyflym a dibynadwy. Mae allfa sugno aer wedi'i gosod ar y top i atal llygredd aer, a rhaid i'r defnyddiwr gysylltu dwythell aer allanol ar gyfer gwacáu.

Llwytho a Socian → Glanhau Ultrasonic → Glanhau Alcali 1 → Glanhau Alcali 2 → Glanhau Alcali 3 → Glanhau Alcali 4 → Rinsio 1 → Glanhau H2O2 → Rinsio 2 → Rinsio 3 → Rinsio Potio 3 → Rinsio 2 → Sychu 1 rhwygo 1 rhwygo 1 rhwygo 1 → DRYSIO 1 DYHOSIO 1 DRYSIO 1 DYHOSIAD 1 → DRY STRYING 1 DYHOSGU 1 → Sychu 1 → DRYSIO 1 → DRYSIO 1 → DRYSIO 1 RINSING 1 RINSING 1 RINSING Dadlwytho ac oeri

Wedi'i gynllunio ar gyfer gwahanu a glanhau wafferi.

Tagiau poblogaidd: Mewnosod Uned Glanhau, Tsieina mewnosod gwneuthurwyr unedau glanhau